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晶粒擴張機 / Wafer Expander |
濕式化學設備
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產品
| 產品簡介 |
- 晶粒切割後，將膠膜上的晶粒間距加大。
- PID精準控溫，加熱面溫度均勻。
- 上蓋自動鎖緊。
- 具預熱計時功能。
- 設有數位卡尺指示上升氣缸行程方便調整。
- 膠膜自動切斷。
- 手動機台可用於微擴。
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| 特點 |
可依客製化提供製作服務。 |
TYPE: W002A Wafer Expander 晶粒擴張機
| 體積 |
W750*L650*H1600mm |
| 重量 |
80~100kg |
| 電源 |
AC 110/220 6A |
| 氣壓 |
3~6kg/cm2 |
| 溫控 |
PID溫度控制器MAX60℃ |
| 預熱計時 |
0~9999 sec |
| 安全裝置 |
緊急排氣閥 |
| 機構動作 |
伺服電動型/氣缸動作 |
| 上蓋扣緊 |
自動 |
| 膠膜切割 |
自動 |
| 上蓋自動開關 |
7吋環以上機台配備(6吋以下為選配) |
| 操作介面 |
觸控螢幕 可設定擴張速度與高度 |
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