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晶圓旋乾機 / Spin Dryer/Spin Rinse Dryer |
濕式化學設備
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Spin Dryer 晶圓旋乾機
Spin Rinse Dryer
產品簡介 | - 體積小，不佔空間
- 電控、機構模組化，故障時可立即更換
- 可結合IPA Rinse
- 晶片吹乾時間短(約3-5分鐘)
- 晶片吹乾後無殘留水痕
- 吹破片機率極低
- 適用薄型晶片、破片
- 加熱時間快
- 多重安全裝置
- 提供DEMO試用服務
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| 應用 | 2"-6" Wafer 晶舟或晶籃 |
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| 特點 | 本產品型式具專利保護，故障率極低，耐用性高 |
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| 提供 | 歡迎來電洽詢 Spin Dryer 試用服務，提供報價單及設備規範書 |
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