|
旋轉塗佈機 or 顯影機 / Spin Coater or Developer 6-12 吋/inch |
濕式化學設備
|
|
產品
| 應用範圍 |
適用基板尺寸: 8" or 12" Wafer/ Glass |
|
產品簡介
Spin Coater
Spin Developer |
- 塗佈機本體 : L×D×H＝視實際設計本體
- 外 觀 材 質 : SUS 304亮面板/進口PP板材
- 設 備 骨 架 : 鋁擠型骨架/SUS 304方鋼
- 作 業 視 窗 : 視窗採透明PVC或玻璃材質
- 管 路 系 統 : 機台背部及底部
- 排 風 系 統 : 間接式抽風設計
- 機 台 支 腳 : 高低調整及鎖定功能
- 盆 罩 掀 蓋 : 氣缸傳動，關開警示音設計
|
| 應用程序 |
啟動掀蓋->人工置放基板->人工目視對位->真空吸附->基板吸附於轉盤上->關閉掀蓋->供料吐出->旋轉開啟->低轉速->中轉速->高轉速->旋轉停止->破真空->啟動掀蓋->人工取件 |
| 項目組成 |
- 設備本體 電控系統
- 機構模組 旋轉機構
- 自動供料 供料手臂
- 管路組件 安全裝置
- 附件總成 選配項目
|
|
|
|
|
