|
塗佈機 (旋轉塗佈機) / Spin Coater |
濕式化學設備
|
|
塗佈機 特點Spin Coater 2-6 inches
旋轉塗佈機 2-6 英吋 產品簡介 | - 體積小，不佔空間
- 電控、機構模組化，故障時可立即更換
- 採用進口PP板美觀大方，亦可使用透明壓克力板
- 轉速依客製化提供 : 6,000；8,000；12,000 rpm
- 採用高級數AC Servo Motor，捨棄DC Motor
- 控制模組升級化，採用新一代PAC 可程式控制器，捨棄PLC
- 全方位四道防漏設計，無須耽心滲漏造成馬達與真空幫浦損壞
- 真空值未達設定值無法啟動
- 具漏液/警示/異常記錄等 檢知功能
- 獨創同業同型設備技術:S曲線加速度設計
- 獨創同業同型設備技術: 轉速即時校正編碼器
- 可客製加裝: N2 Purge、Dispense裝置
- 同業同型級數最高，價格最合理機台
- 提供DEMO試用服務
|
|---|
| 應用 | 2'~6' Wafer Or 10X10Cm Glass/Ceramic/Pmma/Pc Substrate |
|---|
| 特點 | 可依客製化提供製作服務。 |
|---|
|
|
|
|
