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貳-肆頭多槽式旋轉塗佈機 / Multi-Slot Spin Coater |
濕式化學設備
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產品| 製程應用 | |
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| 作業選擇 | Semi-Auto/ Manual |
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| 產品型式 | 落地型:雙槽式、三槽式、肆槽式。 |
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設備名稱:落地型多槽式旋轉塗佈機 | 外 裝 | 本體外殼以SUS or PP板組合焊接而成。 |
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| 工作檯面 | SUS 304亮面板 or 進口PP板。 |
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| 骨 架 | 鋁擠型骨架 or SUS方鋼組合而成，結構強固。 |
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| 盆 罩 | PP材質，盆罩內直徑為:300mm/高:150mm，盆內間接式抽風設計。 |
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| 塗佈範圍 | 2~4〞Wafer。 |
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| 機台支腳 | 具滑輪及固定裝置，可高低調整及鎖定功能。 |
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| 管路電控 | 機構系統置於機台內側底部。 |
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| 拉 門 | 採透明PVC無段式拉門，可下拉至任一點，有效保護操作者隔離酸氣。 |
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| 排 風 | 排風系統置於機台背部，採向上抽氣（8〞管徑×1 Damper）。 |
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| 照 明 | 機台內部上方有壹只 220V 20W 單管日光燈。 |
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| 選轉機構 | 日本 SANYO DENKI or MITSUBISHI AC Servo Motor 間接傳動設計。 |
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| 轉速設定 | 3~7段設定(客製化設定)。 |
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| 設定模式 | 數位輸入。 |
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| 操控方式 | 彩色人機中文介面，直接輸入。 |
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| 控制系統 | PLC/PC Base/PAC。 |
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| 記憶模組 | 10 組(客製化設定)。 |
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| 緊急停止 | 有(E.M.O開關)。 |
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| 需求電源 | 3相220V 20A。 |
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| 製程參數 | 採開放式架構可修改。 |
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| 真空感應 | 真空SENSOR。 |
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| 安全裝置 | 漏電斷路器及緊急停止按鈕。 |
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| 桌面設置 | 裝有啟動/停止真空按鈕。 |
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| 選配項目 | (1)中心定位裝置、(2)PR自動供料系統、(3)晶片背洗裝置、(4)自動供料手臂、(5)重量壓力器 |
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