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晶圆旋干机 / Spin Dryer/Spin Rinse Dryer |
湿式化学设备
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产品简介
此款旋干机(Spin Rinse Dryer)采电控、机构模组化，故障时可立即更换，可结合IPA Rinse，晶片吹干时间短(约3~5分钟)。
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Spin Dryer 晶圆旋干机
Spin Rinse Dryer
产品简介 | - 体积小，不占空间
- 电控、机构模组化，故障时可立即更换
- 可结合IPA Rinse
- 晶片吹干时间短(约3-5分钟)
- 晶片吹干后无残留水痕
- 吹破片机率极低
- 适用薄型晶片、破片
- 加热时间快
- 多重安全装置
- 提供DEMO试用服务
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| 应用 | 2"-6" Wafer 晶舟或晶篮 |
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| 特点 | 本产品型式具专利保护，故障率极低，耐用性高 |
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| 提供 | 欢迎来电洽询 Spin Dryer 试用服务，提供报价单及设备规范书 |
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