|
旋转涂布机 or 显影机 / Spin Coater or Developer 6-12 吋/inch |
湿式化学设备
|
|
|
|---|
产品简介
此款Spin Coater or Developer之外观材质采用SUS 304亮面板或进口PP板材，设备骨架为铝挤型骨架或SUS 304方钢而作业视窗采透明PVC或玻璃材质。
|
产品
| 应用范围 |
适用基板尺寸: 8" or 12" Wafer/ Glass |
|
产品简介
Spin Coater
Spin Developer |
- 涂布机本体 : L×D×H＝视实际设计本体
- 外 观 材 质 : SUS 304亮面板/进口PP板材
- 设 备 骨 架 : 铝挤型骨架/SUS 304方钢
- 作 业 视 窗 : 视窗采透明PVC或玻璃材质
- 管 路 系 统 : 机台背部及底部
- 排 风 系 统 : 间接式抽风设计
- 机 台 支 脚 : 高低调整及锁定功能
- 盆 罩 掀 盖 : 气缸传动，关开警示音设计
|
| 应用程序 |
启动掀盖->人工置放基板->人工目视对位->真空吸附->基板吸附于转盘上->关闭掀盖->供料吐出->旋转开启->低转速->中转速->高转速->旋转停止->破真空->启动掀盖->人工取件 |
| 项目组成 |
- 设备本体 电控系统
- 机构模组 旋转机构
- 自动供料 供料手臂
- 管路组件 安全装置
- 附件总成 选配项目
|
|
|
|
|
