贰-肆头多槽式旋转涂布机 Multi-Slot Spin Coater

设备名称:落地型多槽式旋转涂布机
外装	本体外壳以SUS or PP板组合焊接而成。
工作台面	SUS 304亮面板 or 进口PP板。
骨架	铝挤型骨架 or SUS方钢组合而成，结构强固。
盆罩	PP材质，盆罩内直径为:300mm/高:150mm，盆内间接式抽风设计。
涂布范围	2~4″Wafer。
机台支脚	具滑轮及固定装置，可高低调整及锁定功能。
管路电控	机构系统置于机台内侧底部。
拉门	采透明PVC无段式拉门，可下拉至任一点，有效保护操作者隔离酸气。
排风	排风系统置于机台背部，采向上抽气（8″管径×1 Damper）。
照明	机台内部上方有壹只 220V 20W 单管日光灯。
选转机构	日本 SANYO DENKI or MITSUBISHI AC Servo Motor 间接传动设计。
转速设定	3~7段设定(客制化设定)。
设定模式	数位输入。
操控方式	彩色人机中文介面，直接输入。
控制系统	PLC/PC Base/PAC。
记忆模组	10 组(客制化设定)。
紧急停止	有(E.M.O开关)。
需求电源	3相220V 20A。
制程参数	采开放式架构可修改。
真空感应	真空SENSOR。
安全装置	漏电断路器及紧急停止按钮。
桌面设置	装有启动/停止真空按钮。
选配项目	(1)中心定位装置、(2)PR自动供料系统、(3)晶片背洗装置、(4)自动供料手臂、(5)重量压力器

贰-肆头多槽式旋转涂布机 / Multi-Slot Spin Coater